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CVD設備

類别: 應用示例 發布日期:2017年12月26日(星期二)

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CVD設備是一種在半導體表面上沉積約10nm至1000nm的薄膜的薄膜形成設備。
薄膜的原料是各種氣體,利用“熱”,“光”,“等離子體”等方法使這些氣體進行化學反應并形成薄膜。

化學氣相沉積的優點很多,如成膜速度快、處理面積大、均勻沉積在不平坦表面上等。

 

即使在低溫下條件下也可能精密薄膜,也可以控制由于熱引起的損傷、控制層間相互擴散。 即使對于難以熱分解的原材料也可以獲得實用的沉積速率,并且可以使用具有不同熱分解溫度的材料形成各種各樣組成比的薄膜。

 

迄今爲止,我們已經爲CVD設備制造商提供了大量磁流體。 我們耐腐蝕性氣體的磁流體被廣泛用于CVD設備中。

我們會根據不同使用環境,向客戶提供最佳磁流體方案,歡迎來電或郵件咨詢。 

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