單晶爐
類别: 應用示例
發布日期:2017年12月26日(星期二)
園晶由單晶矽晶棒加工而成,單晶矽晶棒則是由多晶矽原材料加工而成的。
在坩埚中的熔化的矽的液面放入将籽晶,邊旋轉邊向上拉,這樣拉出了原子排列方向一緻的單晶矽晶棒。
這是一般使用的稱之爲CZ制造工藝。
另外,還有CZ工藝的單晶爐中加入強力磁場的MCZ(Magnetic field applied Czochralski)工藝,不使用石英坩埚的低氧濃度制造單晶矽晶棒的FZ(Floating Zone法)工藝
在半導體以及太陽能單晶爐設備中,Moretec的磁流體被廣泛應用。
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